Filmetrics F20 單點便攜式膜厚儀

無論您是想要知道薄膜厚度、光學常數，還是想要知道材料的反射率和透過率，F20都能滿足您的需要。僅需花費幾分鐘完成安裝，通過USB連接電腦，設備就可以在數秒內得到測量結果。基于某模塊化設計的特點，F20適用于各種應用。

F40的光譜測量系統讓用戶簡單快速地測量薄膜的厚度和光學常數，通過對待測膜層的上下界面間反射光譜的分析，幾秒鐘內就可測量結果。

相關應用：半導體制造（光刻膠、氧化物/氮化物/SOI、半導體膜層）；生物醫學元件（聚合物、聚對二甲苯）；MEMS微機電系統（光刻膠、硅膜）；LCD液晶顯示器（盒厚、聚酰亞胺、ITO導電透明膜）。

F50可以非常簡單地獲得最大直徑450毫米的樣品薄膜厚度分布圖。采用r-θ 極坐標移動平臺，可以快速定位所需的測試點并且實時獲得測試厚度，大約每秒測試兩點。

相關應用：半導體制造（光刻膠、氧化物/氮化物/SOI、晶圓背面研磨）；LCD 液晶顯示器（聚酰亞胺、ITO 透明導電膜）；光學鍍膜（硬涂層、抗反射層）；MEMS 微機電系統（光刻膠、硅系膜層）。

Film Sense FS-RT300 多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動式部件橢偏探測器，可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現可靠地薄膜測量。

相關應用：二氧化硅和氮化物，高介電和低介電材料，非晶和多晶材料，硅薄膜，光刻膠。高和低指數薄膜，如 SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2。TCO（如 ITO），非晶硅薄膜，有機薄膜（OLED 技術）等。